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晶圆仿真测试方法、装置及晶圆测试方法.pdfVIP

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  • 2023-06-23 发布于四川
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晶圆仿真测试方法、装置及晶圆测试方法.pdf

    本发明提出了一种晶圆仿真测试方法、装置及晶圆测试方法，晶圆仿真测试方法包括：获取在位Site；晶圆测试程序通过测试机资源库控制晶圆仿真库，使晶圆仿真库根据在位Site进行仿真测试，获取仿真bin值；将仿真bin值转换为测试数据；晶圆测试程序对测试数据进行数据处理，将处理后的测试数据进行分bin操作得到测试bin值；通过测试机资源库进行分bin，将测试bin值传递至晶圆仿真库，晶圆仿真库比较测试bin值和仿真bin值是否相同，若不同，则晶圆测试程序存在缺陷。本发明主要应用于晶圆的试产阶段，能够减少

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113485157 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202110749938.3 (56)对比文件 (22)申请日 2021.07.01

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