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实施方式的隔离器具备第一电极、第二电极、导电体和第一绝缘层。所述第二电极设置于所述第一电极之上,与所述第一电极分离。所述导电体沿着与从所述第一电极朝向所述第二电极的第一方向垂直的第一面,设置于所述第一电极及所述第二电极的周围。所述第一绝缘层设置于所述第二电极之上,包含硅、碳及氮。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113451278 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202010892453.5
(22)申请日 2020.08.31
(30)优先权数据
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