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用于运行电容式MEMS传感器的方法和电容式MEMS传感器.pdfVIP

用于运行电容式MEMS传感器的方法和电容式MEMS传感器.pdf

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    本发明涉及一种用于运行电容式MEMS传感器的方法，包括步骤：在所述MEMS传感器的可偏转布置的震动质量上提供定义的电势；借助时钟控制的控制电压电容式激励所述震动质量的振动运动；通过相应于所述时钟控制的控制电压的时钟的、连接到所述震动质量上的电存储元件的有针对性的充电和/或放电，补偿由所述时钟控制的控制电压决定的、在所述震动质量上所提供的电势的波动。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113454423 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202080015710.5 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司

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