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2023-06-23 发布于四川
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一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构.pdf

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本发明提供一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构，包括多个依次叠放的舟片；所述舟片设有多个镂空区域，所述镂空区域用于安装硅片，且所述镂空区域周围设有至少一个卡住所述硅片的勾点；所述镂空区域安装硅片后，相临两个舟片之间形成独立的且密闭的镀膜通道，所述镀膜通道的延伸方向平行于所述舟片的长度方向，所述舟片在其长度方向的两端分别加工有与所述镀膜通道连通的进气孔和出气孔；所述镀膜通道内通入镀膜气体或惰性气体。本发明单个设备上可以镀多种膜，节省了倒片时间，同时减少倒片过程的划伤，提升了良率。同时避免镀膜过

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113430503 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110801121.6 (22)申请日 2021.07.15 (71)申请人大连连城数控机器股份有限公司

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