一种线圈电磁挤压式磁过滤装置.pdfVIP

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2023-06-23 发布于四川
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一种线圈电磁挤压式磁过滤装置.pdf

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本发明公开了一种线圈电磁挤压式磁过滤装置，属于真空镀膜技术领域，包括电弧阴极、聚焦线圈、安装法兰、偏转室、真空室、偏转挤压组件；所述电弧阴极设置在所述安装法兰上，所述安装法兰与所述偏转室的一端连接，所述偏转室的另一端与所述真空室连通，所述偏转挤压组件设置在所述偏转室与所述真空室的连接处。本发明采用磁挤压的方式，能完成从电源阴极至真空室的等离子体的偏转，完成大颗粒的过滤，使传统磁过滤等离子体非常集中的特点会有所改善，有利于大面积和均匀沉积；并且在完成膜层沉积时，工件转架具有很大的自由设计空间，不被

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113463039 B (45)授权公告日 2022.08.02 (21)申请号 202110744587.7 (56)对比文件