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本发明属于探针卡技术领域,尤其涉及一种可调节探针卡装置的探针驱动结构,包括:连接架、阻尼盘、外齿轮、内齿轮、驱动齿和驱动电机,阻尼盘转动设置在连接架上,阻尼盘的下侧转动设置有外齿轮,外齿轮的内侧与内齿轮啮合,外齿轮的外侧与驱动齿啮合,内齿轮上开设有弧形的限位滑槽,由此结构,能够实现,在驱动齿带动外齿轮转动时,内齿轮首先转动,使移动磁体靠近或远离探针单元阵列,在内齿轮转动至限制的角度后停止转动,外齿轮带动阻尼盘转动,使移动磁体环绕探针单元阵列转动,能够实现移动磁体顺时针和逆时针的转动,同时能够将移
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113433361 A
(43)申请公布日 2021.09.24
(21)申请号 202110820462.8
(22)申请日 2021.07.20
(71)申请人 范长旭
地址 150
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