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试样加工装置和试样加工方法.pdfVIP

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  • 2023-06-24 发布于四川
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试样加工装置和试样加工方法.pdf

    提供一种能够对各种各样的试样高效地进行加工的试样加工装置。本发明的试样加工装置包含：阳极(110)；阴极(120)；引出电极(130)，其引出离子，所述离子是从阴极(120)释放出的电子与气体碰撞而生成的；以及聚焦电极(140)，其配置在阴极(120)与引出电极(130)之间，通过使施加到聚焦电极(140)的聚焦电压变化来控制离子束(IB)的空间轮廓。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116313707 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202211632422.1 (22)申请日 2022.12.19 (30)优先权数据 2021-205944 202

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