一种拾取石墨电极组的方法.pdfVIP

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2023-06-25 发布于四川
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一种拾取石墨电极组的方法.pdf

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本发明涉及一种拾取石墨电极组的方法，属于微纳加工技术领域。将由衬底和衬底上的石墨电极组组成的样品A在真空下于230～290℃退火10～14h；用转移部件直接拾取时，将退火后的样品A在由乙醇和水按1:(2.7～3.3)的体积比组成的混合溶液A中密封浸泡14～18h；当用附着有二维材料的转移部件拾取时，将退火后的样品A在由乙醇、含5wt％氨的氨水和水按1:(0.6～1):(2.7～3.3)的体积比组成的混合溶液B中密封浸泡14～18h；吹干浸泡后的样品A，用转移部件中的h‑BN或转移部件上附有二维材

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116281840 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310241906.1 (22)申请日 2023.03.14 (71)申请人北京理工大学地址 100081