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本发明公开了一种三维光子器件的逆向设计方法及系统，属于光子器件设计优化技术领域；本发明对物理场仿真模型以柱体体素为单元进行网格划分，通过单元的高度分布来表征器件的折射率情况，仅需要最小化光场强度与预设强度阈值的差异、以及当前的光场分布与对应预设分布阈值的差异，即可得到最优的高度分布，可以有效避免常规逆向设计中易出现的上下层孔洞错位、边缘歪斜等情况，更容易实现精准制造。另外，本发明中的网格可以根据需要进行划分，其大小可以任意选择以适应特定光子器件制造技术的分辨率。除此之外，本发明在每次迭代中均使用
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116300067 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310170862.8
(22)申请日 2023.02.27
(71)申请人 华中科技大学
地址 430074
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