一种利用模具构建特定限域空间制备高均匀度石墨烯薄膜的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-25 发布于四川
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一种利用模具构建特定限域空间制备高均匀度石墨烯薄膜的方法.pdf

一种利用模具构建特定限域空间制备高均匀度石墨烯薄膜的方法,它涉及一种石墨烯薄膜的制备方法。本发明的目的是要解决目前化学气相沉积生长的石墨烯需要转移步骤和以绝缘材料为基底生长石墨烯薄膜会受到成核时间长,生长速率慢,缺陷更多的影响,限制了石墨烯应用的问题。方法:一、超声清洗;二、将超声清洗后的非金属衬底放入超声清洗后的耐高温模具的中心凹槽内,再使用超声清洗后的盖片覆盖到耐高温模具中心的凹槽上;三、将装有非金属衬底的反应器放置在高温管式炉中央处,采用化学气相沉积法在非金属衬底上生长石墨烯薄膜,得到高均

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116281980 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310261737.8 (22)申请日 2023.03.17 (71)申请人 西北大学 地址 710127

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