测试结构、失效分析定位方法及电子设备.pdfVIP

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2023-06-25 发布于四川
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测试结构、失效分析定位方法及电子设备.pdf

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本发明提供了一种测试结构、失效分析定位方法及电子设备。具体的，由于在本发明提出的一种新型的测试结构中，其包括多个测试单元和与每个测试单元一一对应的焊盘单元，而在每一测试单元所对应的焊盘单元中则内置一PN结，然后，在利用PN结正向偏置时其所辐射出的光子可以被InGaAsCCD探测到的原理，实现在不额外占用测试结构中的基底(晶圆)空间的情况下，设计出一款可以从众多相同结构的测试单元中，准确快速定位出发生金属互连线短路(漏电)失效的测试单元的测试结构，即，加快了短路失效定位的速度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116314136 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310180373.0 (22)申请日 2023.02.27 (71)申请人上海华力集成电路制造有限公司地址