XPS的测试方法及数据分析总结.pdfVIP

XPS 的测试与数据分析总结 XPS 的样品一般是 10mm*10mm*5mm, 也可以更小些。厚度不能超过 5mm， XPS 分析室的真空度可以达到10-9 Pa, 因此样品要干燥，不能释放气体。XPS 的灵敏度很高，待测样品表面，绝对不能用手，手套接触，也不要清洗。 发展方向：单色化，小面积，成像 XPS 一、功能与特点 （1）定性分析--根据测得的光电子动能可以确定表面存在哪些元素， a. 能够分析出了氢，氦以外的所有元素，灵敏度约 0.1at%。空间分辨率为 100um, X-RAY 的分析深度在 1.5nm 左右。 b. 相隔较远，相互干扰较少，元素定性的相邻元素的同种能级的谱线标识性强。 c. 能够观测化学位移，化学位移同原子氧化态、原子电荷和官能团有关。化学 位移信息是利用 XPS 进行原子结构分析和化学键研究的基础。 （2）定量分析--根据具有某种能量的光电子的强度可知某种元素在表面的含量， 误差约 20%。既可测定元素的相对浓度，又可测定相同元素的不同氧化态的相对 浓度。 （3）根据某元素光电子动能的位移可了解该元素所处的化学状态，有很强的化 学状态分析功能。 （4）由于只有距离表面几个纳米范围的光电子可逸出表面，因此信息反映材料