一种利用13CO同位素分离尾气生产高丰度12CO的装置与方法.pdfVIP

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2023-06-25 发布于四川
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一种利用13CO同位素分离尾气生产高丰度12CO的装置与方法.pdf

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本发明涉及气体纯化和同位素富集领域，公开了一种12CO纯化富集效果好，处理后气体满足半导体行业对12C丰度和纯度需求，利用13CO同位素分离尾气生产高丰度12CO的装置，包括顺序连通的第一隔膜压缩机、第一中间储罐、低温吸附塔、脱轻塔、同位素富集塔、第二中间储罐及第二隔膜压缩机，低温吸附塔与脱轻塔间设有除尘器和第一过滤器，同位素富集塔与第二中间储罐间设有第二过滤器；真空泵和同位素富集塔外部的井真空夹套，真空泵抽取同位素富集塔与井真空夹套内壁间夹层内的气体，同位素富集塔包括塔体、塔体顶底部的第二塔顶

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116272368 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310173897.7 B01D 53/04 (2006.01)