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一种类金刚石薄膜制备方法包括步骤：将陪镀片置于射频等离子增强化学气象沉积设备的腔体内部的阴极工件盘上；将腔体抽真空，阴极工件盘加热；通入丁烷、氩气、锗烷/硅烷，以体积总量计，丁烷占65％‑75％，氩气占5％‑15％，锗烷/硅烷占20％‑30％，开启射频电源，通过射频电源使混合气体离子化并化学反应以在陪镀片的表面上沉积膜厚大于0但在200nm以下的膜，该膜为软膜；软膜制备完成后，通入丁烷和氩气的混合气，以体积总量计，丁烷占85％‑95％，氩气占5％‑15％，开启射频电源，通过射频电源使混合气离子化
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116288239 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310222342.7
(22)申请日 2023.03.09
(71)申请人 安徽光智科技有限公司
地址 23
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