一种可自动除尘的光声光谱式气体传感器.pdfVIP

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2023-06-25 发布于四川
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一种可自动除尘的光声光谱式气体传感器.pdf

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本发明公开了一种可自动除尘的光声光谱式气体传感器，包括顶部封装管壳，顶部封装管壳连接底部封装管壳构成密闭的光声池，光声池内部位于顶部封装管壳的一侧分别设置有集成电路芯片、红外光源和压力传感器，底部封装管壳上开有透气孔，透气孔上位于光声池的一侧设置有多孔电学致动薄膜，集成电路芯片分别连接红外光源、压力传感器和多孔电学致动薄膜，通过逆压电效应驱动多孔电学致动薄膜振动实现除尘，光声池内的待测气体分子通过吸收红外光源发出的周期性光波产生周期性压力信号，压力传感器根据压力信号确定当前的待测气体浓度。能够提

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116297219 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310180522.3 (22)申请日 2023.02.28 (71)申请人西安交通大学地址 710049