一种具有透气孔的抛光垫.pdfVIP

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2023-06-25 发布于四川
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一种具有透气孔的抛光垫.pdf

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本发明涉及一种具有透气孔的抛光垫，抛光垫上设有抛光面，抛光面上设有外围区域和中心区域，中心区域设于抛光垫的中心，外围区域围绕中心区域设置；外围区域设有透气孔和射线沟槽，多个透气孔分布于整个外围区域，多个射线沟槽绕抛光垫的圆心呈放射状设置。与现有技术相比，本发明中透气孔可以通过存储部分抛光液辅助射线沟槽提高抛光效果，射线沟槽可以通过促进抛光液循环辅助透气孔提高散热效果。因此抛光垫上同时设置射线沟槽和透气孔既提高了抛光垫的散热效果，又提高了抛光垫的抛光质量。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116276633 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310110209.2 (22)申请日 2023.02.13 (71)申请人上海芯谦集成电路有限公司地址