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本申请涉及一种太阳能电池及其制作方法，该方法包括将第一测试片和至少一个基底组放入反应腔中，各基底组均包括多片基底，且各基底组的放置区域内均对应设有一个第一测试片；在各基底以及各第一测试片上同步沉积预设材料以形成第一膜层；测量各第一测试片上形成的第一膜层的第一厚度数据，并根据各第一厚度数据确定各基底组中包括的各基底上形成的第一膜层的厚度。本申请通过第一测试片可实现对太阳能电池中的不同膜层厚度的有效监控和确定，操作方便易行，从而可对太阳能电池的制作工艺提供及时反馈和监测，利于改善太阳能电池的制作工艺
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116314459 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310292978.9
(22)申请日 2023.03.23
(71)申请人 天合光能股份有限公司
地址 21
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