类金刚石碳结构及其制备方法与应用.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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类金刚石碳结构及其制备方法与应用.pdf

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本发明涉及类金刚石技术领域，特别是涉及一种类金刚石碳结构及其制备方法与应用。本发明通过在类金刚石碳结构中掺杂氮元素，提升了类金刚石碳结构中载流子的浓度，从而提升了类金刚石碳结构的导电性能，同时，通过掺杂了与氮元素质量比为(1～10):1的氧元素，不仅进一步提升了载流子的浓度，而且降低了类金刚石碳结构中的氢含量，平衡了掺氮带来的sp2结构含量的增加，避免了硬度、强度等力学性能的下降，拓展了类金刚石碳结构的应用场景，尤其是大大提升了其在3C电子领域的可用性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113582172 B (45)授权公告日 2022.07.29 (21)申请号 202110808906.6 (51)Int.Cl.