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本申请涉及体声波谐振器技术领域，公开一种体声波谐振器，包括：谐振器盖体、体声波谐振结构、谐振器载体；谐振器盖体与体声波谐振结构的一侧连接形成第一空腔；体声波谐振结构另一侧与谐振器载体连接；谐振器载体包括牺牲层、截止边界层和衬底；截止边界层位于牺牲层和衬底之间；截止边界层形成位于牺牲层内的第一凸起和第二凸起，谐振器载体通过第一凸起、第二凸起与体声波谐振结构围合形成第二空腔。这样，通过这种结构限定出来的空腔，不需像传统体声波谐振器那样在硅衬底内形成第二空腔，使得谐振器的衬底可以灵活选择硅材料以外的完
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113572448 B
(45)授权公告日 2021.12.17
(21)申请号 202111110286.5 H03H 9/10 (2006.01)
(22)申请日 2
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