减反膜的制备方法、减反膜、压印模板和显示面板.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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减反膜的制备方法、减反膜、压印模板和显示面板.pdf

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本申请提供了一种减反膜的制备方法、减反膜、压印模板、显示面板和显示装置，涉及显示技术领域，解决了减反膜的制备工艺复杂、难以控制、良率低，成本高昂的问题。该方法包括：在第一基板上沉积非晶硅层；对非晶硅层进行激光退火，得到多晶硅层，多晶硅层包括晶界凸起，晶界凸起限定出彼此独立的多个凹槽；获取压印膜，并利用多晶硅层对压印膜进行压印，得到减反膜，其中，减反膜包括多个第一凸起，多个第一凸起和多个凹槽一一对应。该方法通过激光退火得到多晶硅层，有利于提高多晶硅层中晶界凸起的均匀性，进而提高了减反膜中第一凸起的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116299790 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310315071.X (22)申请日 2023.03.28 (71)申请人昆山国显光电有限