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本发明涉及一种液体浸没辅助激光刻蚀表面微结构的装置及制备方法，包括底座和安装在所述底座上的液体循环模块、激光刻蚀模块、液体变温循环模块、材料夹持模块和液面高度监测调节模块；液体循环模块包括储液箱、微量磁力泵、加液箱、液体管道和浸没液池，激光刻蚀模块包括与Z轴升降模块、激光发射器支架、激光发射器，本发明享受激光加工便利的情况下，通过液体循环吸收激光刻蚀加工过程中产生的大量热量，同时一定的浸没深度增加了激光穿透难度，降低烧蚀作用，提高了激光加工的微结构表面质量。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116275548 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310268587.3
(22)申请日 2023.03.17
(71)申请人 杭州电子科技大学
地址 3100
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