一种新型低掺杂高导电性多元氧化物靶材及制备方法.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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一种新型低掺杂高导电性多元氧化物靶材及制备方法.pdf

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本发明目的是提供种一种新型低掺杂高导电性多元氧化物靶材及制备方法，由添加第三种氧化物元素在氧化铟铪材料中，氧化铟铪材料的制作可以采用大气烧结降低设备投入成本，藉由第三种元素的添加提高靶材密度及导电性,氧化铟铪镀膜长波长透光性高有助于异质结太阳能电池透光度提高,增加转换效率。首创使用注浆成型加高温烧结的方式来制作相关镀膜材料(靶材)，靶材均匀性高有利于提高镀膜材料均匀性及提高镀膜的质量，适合大规模量产。由于镀膜高耐候、低损伤、高透光、低电阻及较佳阻水气性的特性可以有效满足太阳能电池、触摸屏、显示器

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116283232 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310329109.9 (22)申请日 2023.03.30 (71)申请人赣州市创发光电科