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本发明提供一种片篮检测方法，包括对片篮两端底板之间的轴向变形量的检测以及对片篮中用于放置硅片的所有侧杆进行缺陷检测，当测得的底板的轴向变形量不合格和/或侧杆有缺陷时，则该片篮为异常品。本发明通过设在片篮底板两侧的两组对射光纤来检测两底板错位倾斜变形，以及通过移动可调的视觉检测对片篮上的每一个侧杆进行多组位置扫描以进行视觉分析，检查出侧杆有无断齿、歪齿、断杆或开裂等问题；判断精准度高且速度快，可边检测边用于生产，自动化程度高且检测效率高。本发明还提出一种片篮检测机构。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116297207 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310329575.7 B07C 5/36 (2006.01)
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