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本发明涉及电子特气领域，尤其涉及碳氟类气体的分离纯化方法，其包括以下步骤：(1)向工业级碳氟气体中混入氯气，并在紫外照射下使得其中的碳氢化合物氯并进行清洗；(2)将经过清洗后的工业级碳氟气体进行通过过渡金属氧化物催化氧化；(3)将经过催化氧化处理后的碳氟气体通入到含有杂质气体吸附剂的离子液体中进行吸附；(4)吸附结束后将碳氟气体通入到精馏塔中精馏脱轻脱重，得到高纯碳氟类气体。本发明中的方法能够对碳氟类气体起到充分的分离纯化作用，经过纯化后得到的高纯碳氟类气体能够有效应用于半导体工业中。同时本发明
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116281950 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310338293.3
(22)申请日 2023.03.31
(71)申请人 大连科利德光电子材料有限公司
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