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- 2023-06-26 发布于四川
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本发明公开了一种磁控溅射镀膜装置，包括底，所述圆盘型支撑底座的顶端呈环形阵列开设有多个固定槽，且多个固定槽内均固定安装有翻转传动组件，所述圆盘型支撑底座顶端的中心固定安装有伺服电机，且伺服电机的电机轴穿过圆盘型支撑底座的一端固定连接有X型支架，所述X型支架上构造有驱动齿环，且驱动齿环啮合连接于多个翻转传动组件，所述翻转传动组件包括固定座，所述固定座内转动安装有传动轴，且传动轴的顶端固定安装有支撑组件，所述传动轴的底端固定安装有啮合于驱动齿环的传动齿轮，所述支撑组件包括安装座一。该磁控溅射镀膜装置
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116288210 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310299539.0
(22)申请日 2023.03.24
(71)申请人 大连榕树光学有限公司
地址 11
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