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本实用新型涉及管式炉技术领域，尤其是一种防水汽凝结石英堵头结构，安装于炉管的测温管的开口处，在所述炉管上还设置有一进气管，该堵头结构至少包括：一堵头件，所述堵头件贴合于所述开口处，以实现密封；本实用新型中通过在现有的堵头结构上增加一填充件，使填充件对测温管的内侧进行填充，实现测温管中空间的占据，以防止水汽进入到测温管的冷端中产生水凝，由于此装状态下，测温管不产生水凝现象，因此不会对后续特别是相邻炉次干氧工艺造成干扰，进而实现湿氧工艺与干氧工艺能够在一个炉管中进行作业，以提升氧化工艺的操作效率以及
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219242624 U
(45)授权公告日 2023.06.23
(21)申请号 202320718975.2
(22)申请日 2023.04.04
(73)专利权人 江苏昕感科技有限责任公司
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