提笼机构及晶体生长装置、晶体生长方法.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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提笼机构及晶体生长装置、晶体生长方法.pdf

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本发明涉及晶体生长技术领域，提供一种提笼机构及晶体生长装置、晶体生长方法，提笼机构包括笼体和吊装组件，笼体伸入晶体生长炉的坩埚内，笼体能够供坩埚内的熔体通过，笼体位于籽晶外、以用于承载晶体；吊装组件的底端与笼体连接，吊装组件的顶端与晶体生长炉的炉盖连接。通过对提笼机构的提升可以将晶体一同提升，使晶体脱离熔体，从而便于取出晶体；由于提笼机构的承载和提升作用，不需要再通过增加籽晶的尺寸来增加籽晶与晶体的连接强度，有利于减小籽晶的尺寸，降低晶体缺陷的引入，有利于获取大口径高光学质量的非线性晶体毛坯及器

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288646 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310318169.0 (22)申请日 2023.03.28 (71)申请人中国科学院理化技术研究所地址