旋转靶材挤压设备及旋转靶材与背管的绑定方法.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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旋转靶材挤压设备及旋转靶材与背管的绑定方法.pdf

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一种旋转靶材挤压设备，包括缸体、芯轴、背管、压套和压力传递介质；其中，缸体和芯轴具有缩径结构，背管同轴螺接在芯轴具有缩径结构的一端；所述旋转靶材安装在缸体与芯轴之间，压套与缸体、芯轴滑动配合，用于通过压力传递介质对旋转铜靶材进行施压，使旋转铜靶经缩径后套在背管上。一种旋转靶材与背管的绑定方法，将旋转靶材加热并放入挤压设备内，通过压力传递介质对旋转靶材进行施压，使旋转靶材经缩径后套在背管上，经冷却后实现旋转靶材与背管的绑定。本发明一是通过缩径挤压的方式提高旋转靶材的致密度；二是巧妙地通过缩径挤压和

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288189 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310321954.1 (22)申请日 2023.03.29 (71)申请人洛阳汇晶新材料科技有限公司地址