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本发明涉及全自动卧式真空镀碳装置及其使用方法，包括机架、真空泵、高真空获得系统、丙酮储存罐、液氮冷阱、真空管道、全量程真空规保护装置、阻隔碳膜附着装置、压力变送器、水冷密封法兰、匀气装置、加热装置、石英真空腔室和直线运动系统；高真空获得系统通过真空管道与阻隔碳膜附着装置的一端连接；全量程真空规保护装置设置在真空管道上；水冷密封法兰与石英真空腔室配合连接；石英真空腔室内设置有加热装置；真空泵与高真空获得系统、水冷密封法兰连接；直线运动系统与石英真空腔室驱动连接；压力变送器与水冷密封法兰连接。其具有
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116288242 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310328868.3
(22)申请日 2023.03.30
(71)申请人 磐石创新 （江苏）电子装备有限公司
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