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本申请公开了一种基片处理系统及方法、载具、支撑及吸盘组件、插片方法，属于基片处理技术领域。基片处理系统包括载具、支撑组件以及吸盘组件，载具上设有多个容纳基片的工位；吸盘组件可将基片转移到支撑组件中或从支撑组件中的取出基片；支撑组件可将基片平稳放入载具的工位中，或将容纳在工位中的基片平稳顶出载具。本申请提供的基片处理系统，支撑组件可将基片平稳放入或顶出载具，吸盘组件向支撑组件放入基片或从支撑组件中取出基片，使得基片可在吸盘组件与支撑组件之间以及支撑组件与载具之间平稳转移，从而实现基片的平稳取放，可
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116313963 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310392892.3
(22)申请日 2023.04.13
(71)申请人 江苏微导纳米科技股份有限公司
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