光谱椭偏测量方法、系统及存储介质.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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光谱椭偏测量方法、系统及存储介质.pdf

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本发明提供一种光谱椭偏测量方法、系统及存储介质。所述方法包括以下步骤：获取多组基于不同入射角度照射待测样品，并经由所述待测样品反射采集的实测光谱数据；将各组所述实测光谱数据代入预先建立的理论光谱模型，以分别确定基于各所述入射角度的实测椭偏函数值；改变所述理论光谱模型的膜层厚度参数，以分别获得对应各所述入射角度及多种候选膜层厚度的理论椭偏函数值；将关于各所述入射角度的理论椭偏函数值，分别与对应的实测椭偏函数值进行对比及误差分析，以确定光谱拟合误差；以及根据所述光谱拟合误差，确定所述待测样品表面的薄

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116297227 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310325048.9 (22)申请日 2023.03.29 (71)申请人睿励科学仪器（上海）有限公司地址