1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种三维光波导调制结构及其制备方法.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约2.11万字
  • 约 21页
  • 2023-06-26 发布于四川
  • 举报

一种三维光波导调制结构及其制备方法.pdf

    本发明提供一种三维光波导调制结构及其制备方法，其中，三维光波导调制结构包括：衬底；位于所述衬底中的光波导，所述光波导包括主传输光波导、过渡光波导和边缘光波导，所述过渡光波导连接所述主传输光波导和所述边缘光波导，所述主传输光波导和所述边缘光波导在所述衬底中的深度不同；位于所述衬底一侧表面的耦合波导，所述耦合波导与所述主传输光波导相对设置，所述耦合波导至所述主传输光波导的距离小于所述耦合波导至所述边缘光波导的距离；位于所述耦合波导背向所述衬底一侧的铌酸锂膜。所述三维光波导调制结构使光在光波导传输过程

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114114533 A (43)申请公布日 2022.03.01 (21)申请号 202111443769.7 (22)申请日 2021.11.30 (71)申请人 华进半导体封装先导技术研发中心

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >