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本申请涉及一种石英舟成型方法及使用该方法制得的石英舟，属于半导体设备制备的技术领域，石英舟成型方法包括加工槽棒并确定槽棒尺寸：确定顶板、底板尺寸并对顶板和底板进行铣面处理；安装槽棒、底板和顶板，包括安装设备，所述安装设备包括支撑板，所述支撑板上设有定位槽棒的定位组件，所述支撑板上一端设有安装顶板的安装组件，另一端设有安装底板的运输组件，所述安装组件和所述运输组件之间设有驱动两者同时移动的驱动组件；将顶板、槽棒和底板相互固定，形成石英舟。本申请具有快速定位并安装槽棒，提高工作效率的效果。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116313950 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310286485.4
(22)申请日 2023.03.22
(71)申请人 北京凯德石英股份有限公司
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