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本发明涉及一种适用于宽带量子阱探测器的宽带天线阵列耦合器,自上而下包括上电极层、GaAs有源区和下电极层;所述GaAs有源区分布有数个微腔阵列单元;所述微腔阵列单元的顶层为上金属电极(5),所述上金属电极(5)两两之间通过微带线连接,形成上电极层;所述上金属电极(5)包括4个独立的且尺寸互不相同的微腔。本发明利用二维微纳结构和SPPs机理实现的THzQWP光耦合结构,使得THzQWP既能实现电压可调谐,又能实现阵列化宽带探测,具有更好的市场应用前景。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116314416 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310286503.9
(22)申请日 2023.03.21
(71)申请人 中国科学院上海微
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