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本发明公开了一种防吸合平板式MEMS振镜，包括上极板和下极板，所述上极板的上表面设有镜面，所述上极板的一侧连接有悬臂，所述悬臂与所述下极板之间设有阳极键合用微晶玻璃，所述上极板和所述下极板之间设有至少一个防吸合支撑构件。本发明通过在上极板和下极板之间设置防吸合支撑构件，当镜面向下极板方向移动时，镜面最多与防吸合支撑构件接触，而不会与下极板接触，从而有效防止吸合现象发生。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113640983 B
(45)授权公告日 2022.07.01
(21)申请号 202110922840.3 审查员 谢璐雯
(22)申请日 2021.08.11
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