一种金属玻璃三维结构的制备方法及其传感应用.pdfVIP

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2023-06-27 发布于四川
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一种金属玻璃三维结构的制备方法及其传感应用.pdf

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本发明涉及一种自支撑金属玻璃三维结构的制备方法及其在传感器领域的应用。制备方法包括设计三维结构对应的平面图形，光刻制备硅模板，利用硅模板对金属玻璃进行热塑性成型以复制硅模板上的图案，对热塑性成型后的硅模板进行打磨抛光并释放复制的金属玻璃平面图案结构，固定金属玻璃平面图案结构的固定端，使得金属玻璃平面图案结构的移动端相对于固定端发生面外变形以获得金属玻璃三维结构，将保持固定的金属玻璃三维结构进行应力松弛，取出金属玻璃三维结构待其冷却后去除固定。自支撑金属玻璃三维结构在传感器中的应用包括大量程力和位

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113637930 B (45)授权公告日 2022.04.15 (21)申请号 202110831045.3 G01L 1/04 (2006.01)