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本发明适用于半导体生产相关领域，提供了一种半导体质量检测装置及方法，所述装置包括上料带、转移机构、视觉检测设备和性能检测机构。上料带将半导体元器件传送至转移机构上，视觉检测设备对半导体元器件的外观进行检测之后，转移机构继续将半导体元器件传送至性能检测机构所在的位置，性能检测机构对半导体元器件的通电性能进行检测，经过两次质检，质检出外观不合格或者性能不合格的产品，将不合格件和合格件分拣到不同的盛放容器中。该装置能够连续自主的对抽检的样品进行质检，质检效率高，可以在与人工质检时间相同的情况下质检更多
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113640314 B
(45)授权公告日 2021.12.31
(21)申请号 202111197547.1 G01R 1/04 (2006.01)
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