一种硅片清洗污水的处理方法.pdfVIP

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2023-06-27 发布于四川
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一种硅片清洗污水的处理方法.pdf

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本申请涉及一种硅片清洗污水的处理方法，包括如下步骤：向硅片清洗污水中加入酸液，调节所述硅片清洗污水的pH值至4~6；向硅片清洗污水中加入硅片切割污水，调节所述硅片清洗污水的悬浮物浓度；对pH值与悬浮物浓度调节后的硅片清洗污水进行压滤，收集压滤所得的固相；向压滤所得的滤液中加入碱液，调节所述滤液的pH值至7~8；对pH值调节后的滤液进行生化处理。本申请所提供的方法不但安全高效地实现了对硅片清洗污水、硅片切割污水中的硅粉的回收，增加了效益；还使得经处理后的污水的悬浮物浓度显著降低，提高了生化处理的效

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113620546 B (45)授权公告日 2022.02.25 (21)申请号 202111168743.6 (56)对比文件 (22)申请日 2021.10.08