绝缘介质窗清洗设备及方法.pdfVIP

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2023-06-28 发布于四川
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绝缘介质窗清洗设备及方法.pdf

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本申请提供一种绝缘介质窗清洗设备及方法，应用于晶圆加工技术领域，其中，绝缘介质窗清洗设备，包括：导电薄膜设置在电感耦合机台的绝缘介质窗上；在直流偏压的作用下，绝缘介质窗、腔体和腔体盖之间的等离子体，被库仑力吸引持续轰击绝缘介质窗表面，使得绝缘介质窗表面的沉积物无法附着在绝缘介质窗表面。通过在绝缘介质窗上增加一层导电薄膜，此层导电薄膜和腔体盖、腔体等形成电容耦合辉光放电，在直流偏压作用下，等离子体中大质量离子被库仑力吸引持续轰击绝缘介质窗表面，使得沉积物无法附着在绝缘介质窗表面，可以有效的对绝缘介

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116344316 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310408924.4 (22)申请日 2023.04.17 (71)申请人上海邦芯半导体科技有限公司地址