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本发明提供一种能散补偿器，包括：真空结构体，其内腔设有上褶皱板和下褶皱板，其提供真空环境；机械结构，其承载真空结构体，具有与上褶皱板和下褶皱板连接的传动机构，传动结构包括在真空结构体的靠近入口端的上部和下部分别安装的入口上、入口下梁传动机构，以及在真空结构体的靠近出口端的上部和下部分别安装的出口上、出口下梁传动机构；以及控制系统，设置为驱动传动机构，进而带动上褶皱板和下褶皱板运动，调节上褶皱板和下褶皱板之间的间距的大小。本发明的采用四个步进电机联动来调节两褶皱板之间的间隙和夹角，以补偿电子束能散
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116345280 A
(43)申请公布日 2023.06.27
(21)申请号 202310425268.9
(22)申请日 2023.04.19
(71)申请人 中国科学院上海高等研究院
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