扫描电子显微镜的样品及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-28 发布于四川
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本申请公开了一种扫描电子显微镜的样品及其制备方法。其中，该制备方法包括：将初始样品固定于制样模板的指定区域；在制样模板上相应于初始样品的边缘间隔设置与初始样品等高的第一导电胶层；对带有初始样品及第一导电胶层的制样模板进行镀膜处理，得到供扫描电子显微镜观测的成品样品。本申请实施例制备的成品样品，通过在初始样品的边缘设置等高的第一导电胶层，使得样品的边缘与中心所受的电场力均匀，像散接近一致，利于在图像采集过程进行像散参数的调试，可以避免样品边缘的虚图情况，进而能够使得在减速模式下的扫描电子显微镜获取

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116337908 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310282701.8 (22)申请日 2023.03.21 (71)申请人聚束科技（北京）有限公司地址