1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

晶圆V型缺口中心的定位方法、系统及计算机存储介质.pdfVIP

  • 11
  • 0
  • 约1.91万字
  • 约 19页
  • 2023-06-28 发布于四川
  • 举报

晶圆V型缺口中心的定位方法、系统及计算机存储介质.pdf

    本发明实施例公开了一种晶圆V型缺口中心的定位方法、系统及计算机存储介质；所述定位方法包括：根据采集的晶圆V型缺口的边缘数据，确定所述V型缺口边缘相对应同心圆的圆心；基于所述圆心与设定的基准刻度线之间的位置，判断所述V型缺口是否处于设定的目标中心位置；当所述V型缺口不处于设定的目标中心位置时，基于所述圆心与设定的基准刻度线之间的位置，确定所述晶圆的旋转方向和旋转角度；根据所述晶圆的旋转方向和旋转角度，驱动所述晶圆旋转以使得所述V型缺口转动至所述设定的目标中心位置。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113658901 B (45)授权公告日 2022.01.21 (21)申请号 202111228898.4 H01L 21/66 (2006.01)

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >