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弱刚性非球面光学元件支撑刚度检测系统及变形补偿方法.pdfVIP

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  • 2023-06-28 发布于四川
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弱刚性非球面光学元件支撑刚度检测系统及变形补偿方法.pdf

    本发明公开了弱刚性非球面光学元件支撑刚度检测系统及变形补偿方法，其中系统包括：施压子系统、力传输子系统、数据采集子系统和数据分析子系统；施压子系统，用于产生目标压力；力传输子系统，用于将目标压力施加到轻量化非球面元件的表面；数据采集子系统，用于采集目标压力的大小，以及采集轻量化非球面元件在目标压力的作用下的形变量；数据分析子系统，用于根据目标压力的大小和形变量，计算轻量化非球面元件的支撑刚度。该系统的硬件部分结构紧凑、操作方便，可以高效高精度测量元件表面不同点位处的支撑刚度。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116337373 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310159179.4 (22)申请日 2023.02.23 (71)申请人 中国工程物理研究院激光聚变研究

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