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本发明提供一种化学机械研磨用组合物及研磨方法，所述化学机械研磨用组合物可使钨膜的研磨速度大且减少钨膜表面腐蚀的产生。本发明的化学机械研磨用组合物含有(A)选自由下述通式(1)～通式(3)所表示的化合物所组成的群组中的至少两种、(B)铁(III)化合物及(C)研磨粒，pH为2以上且5以下。(式(1)～式(3)中，R1及R2各自独立地表示碳数为n以下的烷基，R3各自独立地表示烃基；M‑表示一价阴离子；n表示3以上的整数)
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116333686 A
(43)申请公布日 2023.06.27
(21)申请号 202211383330.4
(22)申请日 2022.11.07
(30)优先权数据
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