原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及晶片加工领域，公开了一种去除蓝宝石单抛衬底背面色差的清洗方法，蓝宝石衬底研磨下机后使用流水冲洗掉表面的研磨砂，再将其于碱性清洗剂中浸泡20‑30min后，使用流水冲掉表面的浮砂及清洗剂；边喷活性剂边双面刷洗，最后喷纯水冲洗掉活性剂；采用2~4倍压缩的擦擦克林擦洗表面后，纯水冲洗表面杂质；使用酸性清洗剂浸泡800~1000s后，进行QDR清洗；干燥、叠片、上炉、退火后，贴片、单面化学抛光后，通过鼓泡清洗表面的大颗粒；刷洗掉抛光面的脏污颗粒；使用科技海绵蘸取活性剂擦洗抛光面；去蜡清洗和碱洗
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113680721 B
(45)授权公告日 2022.07.12
(21)申请号 202110960902.X B08B 3/02 (2006.01)
文档评论（0）