一种具有离子源的卧式真空镀膜器.pdfVIP

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2023-06-29 发布于四川
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一种具有离子源的卧式真空镀膜器.pdf

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本实用新型公开了一种具有离子源的卧式真空镀膜器，属于真空镀膜领域。包括有卧式真空管、离子源，卧式真空管包括有进口插板阀、出口插板阀以及横向设置的管体，进口插板阀、出口插板阀分别安装在管体的前后两端形成镀膜空间，离子源设置在真空室内。本实用新型的优势在于：相比于现有技术，本实用新型的卧式真空镀膜器将卧式真空管和离子源相结合，为工件构造出了独立的镀膜空间，且相邻的卧式真空镀膜器可以通过进口插板阀与出口插板阀密封连接形成连续的镀膜生产线，工件可以依次经过一个个真空镀膜器进行连续镀膜而不会破坏真空环境，

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219260168 U (45)授权公告日 2023.06.27 (21)申请号 202320519911.X (22)申请日 2023.03.08 (73)专利权人森科五金（深圳）有限公司地址