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一种真空石英坩埚封口装置.pdfVIP

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  • 2023-06-29 发布于四川
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一种真空石英坩埚封口装置.pdf

    本实用新型公开了一种真空石英坩埚封口装置，属于石英坩埚封口技术领域，包括底座，所述底座的上表面固定安装有真空泵，所述真空泵的一端通过管道安装有过滤机构，所述过滤机构的外表面设置有密封机构，所述密封机构的底部设置有固定板，所述固定板的底部固定连接有密封垫，所述密封垫的下方设置有定位架，通过密封机构带动固定板向下运动，使固定板带动密封垫向下运动，使密封垫将石英坩埚开口进行密封，同时过滤机构中靠近石英坩埚处设置有单向阀，进一步提高对石英坩埚封口的密封效果，从而达到解决现有的真空石英坩埚封口装置封口的密

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219259849 U (45)授权公告日 2023.06.27 (21)申请号 202320720195.1 (22)申请日 2023.04.04 (73)专利权人 科海集晶 （北京）科技有限公司

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