一种硅片侧吹风刀.pdfVIP

下载本文档

1
0
约7.83千字
约 10页
2023-06-29 发布于四川
举报
版权申诉

一种硅片侧吹风刀.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型涉及硅片生产技术领域，具体涉及一种硅片侧吹风刀。包括基座，所述基座表面开设有腔体，所述腔体表面底部处设置有出风槽；嵌块间隔设置于所述腔体的内部，将所述腔体分隔成若干的风腔；所述基座的顶部间隔设置有若干的连接口，所述连接口与所述风腔连通，气体能够通过连接口通入至所述风腔内部；每个所述风腔内部均水平设置有阻隔杆，所述阻隔杆的两端与所述嵌块存在间隙；盖板设置于所述基座上，与所述腔体进行密封连接，气体能够从所述腔体底部的所述出风槽排出。外界的气源分别与连接口进行连接，气体通过两次的加速，能够极

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219267609 U (45)授权公告日 2023.06.27 (21)申请号 202320293371.8 (22)申请日 2023.02.23 (73)专利权人无锡江松科技股份有限公司地址