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本发明公开一种介电常数ε为9,品质因子与谐振频率乘积(Q×f)为15895GHz,谐振频率温度系数(τf)为‑53.7ppm/℃的低介电常数石榴石结构微波介质陶瓷及其制备方法,属于微波介质陶瓷制备技术领域,其化学组成为Ca3Sb2Ga2ZnO12。本发明公开的低介电常数微波介质陶瓷所用原料成本低、化学组成及制备工艺简单,可应用于微波集成电路基片、谐振器与电子产品封装等微波器件的制造。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113683399 A
(43)申请公布日 2021.11.23
(21)申请号 202110838195.7
(22)申请日 2021.07.23
(71)申请人 桂林理工大学
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