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光刻胶剂烘烤设备.pdfVIP

光刻胶剂烘烤设备.pdf

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    本公开实施例提供一种光刻胶剂烘烤设备。光刻胶剂烘烤设备包括烘烤室、烤盘、排气管路以及盖板。烘烤室在其侧壁上具有排气口。烤盘设置于烘烤室中，并且配置用以支撑晶片及加热在晶片上方的光刻胶剂材料。排气管连接到排气口，并且配置用以排出烘烤室内部的气体。盖板设置于烤盘上方且位于烤盘和排气口之间。盖板具有多个排气孔以允许空气流过。其中，较远离排气口的排气孔的尺寸大于较靠近排气口的排气孔的尺寸。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113703293 A (43)申请公布日 2021.11.26 (21)申请号 202110528811.9 (22)申请日 2021.05.14 (30)优先权数据 16/881,22

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